Nanotech - Équipements

Nanotech

Outils de micro/nanofabrication

Banc de microcontact-printing (classique ou électrique)
Banc de nano-impression (classique ou électrique)
Masqueur UV KUB2
Ecriture Laser UV direct Dilase 650
Masqueur digital SmartPrintUV (Microlight3D)
Bâti de gravure ionique
Bâti de pulvérisation cathodique (SBT IBS/e)
Bâti d’UV/ozone (Pico PCCE de diener / IntCo, 42-220 UVO cleaner de Jelight)
Bâti de dépôt chimique en phase vapeur de silanes
Scriber
Spincoating (spin 150 de sps-europe, Polos de Spincoating)
Bain thermostaté (Julabo 200F)
Torche plasma Corona (ETP DB-20)
Lamineuse (Fortex Laminator 505)
Photoplotter (FilmStar-Plus de Bungard)
Etuves (xfm020 de France étuves, Falc, Memmert UL-30, Binder)
Écriture/Graveur laser portable 450nm 10W & 1064nm 2W (Laser Peacker)
Plateforme CND multi-têtes Hydra21 pour impression 3D, micromilling, découpe laser, pick and place, drop on demand, mesures électriques (Hyrel3D)

Banc d’assemblage de nanoparticules colloïdales

2 montages « maison » de dépôt convectif de nano-objets sous microscope optique, dont l’un dans une enceinte climatique régulée en température et humidité, optimisé pour les grandes surfaces
Banc « maison » microfluidique automatisé sur microscope inversé comprenant des contrôleurs de pression MFCS -EZ (2x 7 Bars, 345 mBar et -800 mBar), flow EZ 69 mBar, des vannes (2-Switch et M-Switch) de chez Fluigent et des contrôleurs en débit (3 vois Nemesys S de chez Cetoni)

Caractérisations topographiques

2 microscopes à force atomique (AFM) BRUKER équipé d’un contrôleur Nanoscope V : un ICON et un Multimodes 8
Divers modes dérivés sont disponibles sur ces microscopes : les modes électriques EFM (Electric Force Microscopy) et KFM (Kelvin Force Microscopy), la nanolithographie, le mode magnétique MFM (Magnetic Force Microscopy), le mode Peak Force QNM et le mode Extended TUNA. Il est également possible de travailler en milieu liquide ou de contrôler la température de l’échantillon (Heater/Cooler) ou encore de travailler dans une enceinte environnementale. Des essais de traction peuvent également être effectués à l’aide d’une platine de traction DEBEN placée sous la pointe de l’ICON
Profilomètre optique (Profilm3D, Filmetrics)

Caractérisations électriques

Station sous pointe à basse température JANIS ST-500
KEITHLEY S4200C : mesures de transport C(V) et I(V), mode pulsé ultra rapide (Ultra Fast PMU KEITHLEY)
La station sous pointe est couplée à un banc « maison » comprenant 5 lasers couplées (405 nm, 532 nm, 640 nm, 785nm, 980nm) à la fibre optique située dans l’un des bras de la station sous pointe. Des mesures sous éclairement sont donc possibles

Caractérisations optiques

Microscope optique (analyse) inversé IX73 (OLYMPUS) équipé de sources de fluorescence PE300_w (réflexion et transmission), d’un spectromètre (Ocean Insight OceanHDX) et d’une caméra GrassHopper (GS3-U3-23S6C-C de Teledyne Flir)
Microscope optique (analyse) directe BX53M (OLYMPUS) champs clair/sombre équipé de sources de fluorescence PE300_w (réflexion et transmission) avec système de polarisation (condenseur avec polariseur + filtre analyseur) et d’une caméra GrassHopper (GS3-U3-123S6C-C de Teledyne Flir)
Banc « maison » de photoluminescence ThorLabs avec spectromètre Maya 2000 pro, platine XY de Märzhauser, Z de NewPort, laser PSU-III-LED de C.N.I. Optoelec. Inc.
Microscope optique (caractérisation) directe BX54M (OLYMPUS) champs clair/sombre en réflexion (blanc) avec camera DP28 (+ stand-alone)
Microscope optique (caractérisation) directe BX41M (OLYMPUS) champs clair/sombre (+ cube fluo) en réflexion (blanc) avec camera DP28 (+ stand-alone)

Caractérisations mécaniques

Caractérisations électro-mécaniques

Banc « maison » de caractérisation électriques et optiques combinées à des contraintes mécaniques et un contrôle de la température (de la température de l’azote liquide à température ambiante). Échantillons sur substrats flexibles (PET, polyimide…). Le banc est relié à nos électromètres (pour les très faibles courants) et à l’analyseur d’impédance (Keysight) pour les analyses en spectroscopie d’impédance.

Caractérisations en spectromètre d’impédance

Keysight Impedance Analyzer EA4990A fonctionnant dans la gamme 20Hz à 50 MHz
Analyseur de réseau VNA fonctionnant dans la gamme 300kHz à 8.5GHz) avec station sous pointe en boite noire.

Autres caractérisations

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