Laboratoire de Physique et Chimie des Nano-objets

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Accueil du site > LPCNO > Publications > Articles > 2004 > Atomic force microscopy study of micrometric pattern replica by hot embossing lithography

C. Martin, L. Ressier, JP. Peyrade

Atomic force microscopy study of micrometric pattern replica by hot embossing lithography

Microelectronic Engineering, 71, 272-276 (2004)