Laboratoire de Physique et Chimie des Nano-objets

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Accueil du site > LPCNO > Publications > Articles > 2004 > Study of PMMA recoveries on micrometric patterns replicated by nano-imprint lithography

C. Martin, L. Ressier, J-P Peyrade,

Study of PMMA recoveries on micrometric patterns replicated by nano-imprint lithography

Physica E, 17 (2 3) 523-525