Laboratoire de Physique et Chimie des Nano-objets

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Accueil du site > LPCNO > Publications > Articles > 2004 > Elaboration of 1µm square arrays of octadecyltrimethoxysilane monolayers on SiO2/Si by combining chemical vapour deposition and nano-imprint lithography

J.-B. Lhuillier, C. Martin, L. Ressier, J.-P. Peyrade, M. Respaud, J.Grisolia

Elaboration of 1µm square arrays of octadecyltrimethoxysilane monolayers on SiO2/Si by combining chemical vapour deposition and nano-imprint lithography

Superlattices and Microstructures, 36, 227 (2004)