Laboratoire de Physique et Chimie des Nano-objets

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Accueil du site > LPCNO > Publications > Articles > 2005 > Electrical properties of nanocontacts on silicon nanoparticles embedded in thin SiO2 synthesized by ultralow energy ion implantation

G. Ben Assayag, M. Shalchian, J. Grisolia, C. Dumas,H. Coffin, S. M. Atarodi and A. Claverie

Electrical properties of nanocontacts on silicon nanoparticles embedded in thin SiO2 synthesized by ultralow energy ion implantation

J. Vac. Sci. Technol. B, 23,6, 2821-2825 Nov/Dec 2005

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