Laboratoire de Physique et Chimie des Nano-objets

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Accueil du site > LPCNO > Publications > Articles > 2007 > Adhesion improvement of epoxy resist to a benzocyclobutene layer : Application to nanoimprint lithography

Benoit Viallet , E. Daran

Adhesion improvement of epoxy resist to a benzocyclobutene layer : Application to nanoimprint lithography

Polymer Surface Modification : Relevance to Adhesion, Polymer Surface Modification : Relevance to Adhesion, Vol. 4, pp.231-240, Leiden, Boston

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