Laboratoire de Physique et Chimie des Nano-objets

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Accueil du site > LPCNO > Publications > Articles > 2007 > Synthesis of localized 2D-layers of silicon nanoparticles embedded in a SiO2 layer by a stencil-masked ultra-low energy ion implantation process

C.Dumas, J.Grisolia, L.Ressier, A.Arbouet, V.Paillard, G.Ben Assayag, A.Claverie, M.A.F.van den Boogaart, J.Brugger

Synthesis of localized 2D-layers of silicon nanoparticles embedded in a SiO2 layer by a stencil-masked ultra-low energy ion implantation process

Phys. Stat. Solidi A, 204, No. 2, 487–491 (2007) / DOI 10.1002.

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