Laboratoire de Physique et Chimie des Nano-objets

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Accueil du site > LPCNO > Publications > Articles > 2007 > Control of negative PMMA for the elaboration of planar electrodes separated by a sub-10nm gap

J. Grisolia, C. Martin, L. Ressier, J-P. Peyrade, B. Viallet, C. Vieu.

Control of negative PMMA for the elaboration of planar electrodes separated by a sub-10nm gap

Journal of Nanoengineering and Nanosystems, DOI : 10.1243/17403499JNN58, Pages : 61-69, Issue : Volume 221, Number 2/2007.

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