Laboratoire de Physique et Chimie des Nano-objets

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Accueil du site > LPCNO > Publications > Articles > 2007 > Control of micro and nano-patterns of octadecyltrimethoxysilane monolayers using nano-imprint lithography and atmospheric chemical vapor deposition

L. Ressier, B. Viallet, C.Martin, J. Grisolia, J.P. Peyrade,

Control of micro and nano-patterns of octadecyltrimethoxysilane monolayers using nano-imprint lithography and atmospheric chemical vapor deposition

J. Vac. Sci. Technol. B, Vol. 25, No. 1, 17-20 Jan/Feb 2007.

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